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精密機械零件加工精度差，一般是由于安裝調整時，各軸之間的進給動態根據誤差沒調好，或由于使用磨損后，機床各軸傳動鏈有了變化。可經過重新調整及修改間隙補償量來解決。

當動態跟蹤誤差過大而報警時，可檢查：伺服電動機轉速是否過高。位置檢測元件是否良好。位置反饋電纜接插件是否接觸良好。相應的模擬量輸出鎖存器、增益電位器是否良好。相應的伺服驅動裝置是否正常。

精密機械零件加工機床運動時超調引起加工精度不好，可能是加、減速時間太短，可適當延長速度變化時間。也可能是伺服電動機與絲杠之間的連接松動或剛性太差，可適當減小位置環的增益。